国产半导体设备大点兵谁能成为中芯世界28nm产线新宠？
芯东西9月23日报导，上星期，国产设备厂商北京华卓精科科技股份有限公司成功过会。事实上，自本年6月以来，华海清科、华卓精科、拓荆科技、屹唐股份等国产设备厂商纷繁进入上市流程，其承当的集成电路研制项目也有所突破。而这正是下流中芯世界等厂商所等待的“及时雨”。
本月，中芯世界发表其将在上海临港再建一座晶圆厂，该晶圆厂总投资88.7亿美元，计划产能为每月10万片12英寸晶圆产能。上海临港管委会为该晶圆厂项目得合资方，出资25%；中芯世界出资则不低于51%。
在二季度电话会议上，有分析师询问了中芯世界28nm制程扩产的状况。中芯世界联席首席执行官赵水兵供认，中芯世界的28nm节点扩产的确存在设备“delay（延期）”的状况，正在与合作伙伴进行尽力和交流。
他也着重“方法仍是能够想的出来的”，中芯世界有第二计划的供货商。一起，依照此前的经历，中芯世界是能够在一些节点上取得美国政府的批文，中芯世界将尽力把这种同意延续到愈加先进的节点。
对应各制作环节，首要的半导体设备有热处理设备、薄膜堆积设备、涂胶显影设备、光刻机、刻蚀设备、去胶设备、离子注入设备、CMP设备等。跟着半导体设备厂商逐步登陆科创板或承受大基金支撑，其研制资金有所提高，完结了多项设备的国产代替。现在不少企业的产品已能够用于28nm产线，部分产品乃至打入了最先进的5nm产线。
这一工序中，北方华创、屹唐股份等厂商能够供给使用于28nm逻辑芯片产线的设备。
屹唐股份的实践操控人为财务审计局，此前收买了美国纳斯达克上市公司Mattson Technology Inc.（MTI），其热处理设备最高可用于5nm逻辑芯片产线。
在薄膜成长环节，北方华创能够供给化学气相堆积设备（CVD）、物理气相堆积设备（PVD）、原子层堆积设备（ALD）等产品；拓荆科技则有等离子体增强化学气相堆积（PECVD）设备、原子层堆积（ALD）设备和次常压化学气相堆积（SACVD）设备。
上星期六，上海微电子宣告推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机，该光刻机首要使用于高密度异构集成范畴，具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特色。
光刻设备中，除了光刻机，涂胶显影设备也是重要的一环。涂胶显影设备将影响光刻图画的构成，其设备质量还将影响后续蚀刻、离子注入等流程。
在这一范畴中，芯源微电子设备有限公司是重要的国产供货商，其大部分股东为国资布景。现在，芯源公司的涂胶显影设备最高可用于12英寸单晶圆处理，其前道KS-FT200/300涂胶显影机可用于28nm及以上工艺节点。
其间，中微公司已是全球半导体刻蚀设备的5大供货商之一，其12英寸高端刻蚀设备已用于5nm产线nm刻蚀机Alpha原型机的规划、制作、测验及开始的工艺开发和评价已完结。
▲中微公司2013年推出的刻蚀机，可用于26-10nm芯片制作（来历：中微源公司官网）
此外，屹唐股份的干法刻蚀设备可用于65nm-5nm逻辑芯片量产；北方华创的NMC612D 12英寸硅刻蚀机则首要可使用于FinFET工艺下的干法刻蚀工艺。
离子注入则是除了分散的另一种半导体掺杂技能，该技能经过高能量带电离子束，将掺杂物原子强行注入半导体中。离子注入环节的技能门槛相对较高，国产厂商商场份额较少，仅有中科信及万业企业旗下的凯世通的产品在部分12寸晶圆产线取得验证经过，是否能够协助中芯世界扩产28nm并不清晰。
在干法去胶范畴，屹唐股份已成为全球龙头厂商。屹唐股份占有了全球干法去胶设备商场的31.29%，是全球商场份额最多的厂商，其产品可用于90nm到5nm逻辑芯片的干法去胶工艺。
当时华海清科的机台产品正在做产线nm产线年前五大客户（来历：华海清科招股书）
一方面，对华为等美国要点制裁的企业，中芯世界仍不能供给包括ASML DUV光刻机等含有美国技能的产品。另一方面，依据拓荆科技、屹唐股份等厂商的招股书，其设备功能和使用资料、泛林半导体等世界巨子比较仍有缺乏；CMP和离子注入设备能否顺畅使用于28nm产线年，中芯世界就已推出了根据使用资料、泛林半导体等厂商设备的28nm工艺。现在，中芯世界假如将28nm产线悉数替换为国产设备，无论是产线产能、本钱，仍是产品良率都或许无法到达预期。这也是中芯世界仍需求使用资料、泛林半导体等外国厂商设备的要害原因。
从国产设备厂商来看，中微公司、屹唐股份、华海清科等厂商都已在科创板上市或进入上市流程。这些厂商关于中芯世界来说，不仅是使用资料、泛林半导体等企业的备选计划，也是中芯世界完结国产代替、冲刺更先进制程的战友。
跟着自动驾驶等新式技能的遍及，28nm制程正成为企业营收的重要来历。台积电、联电等厂商都在加强对这一节点商场的抢夺。从最新的晶圆代工商场份额来看，28nm等老练制程正成为企业毛利、营收增加的要害。
中芯世界假如能够顺畅完结28nm产线扩张，无疑能够加强本身的商场竞争力，占有更多的商场份额。28nm产线扩张更将有力地支撑中芯世界对先进制程工艺的研制，提高国产芯片制作实力。